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产品特点
量程低至0.5SCCM
宽量程比：10000:1
响应时间：100-1000ms
无需预热时间
多功能数字显示屏，带摁键背光
内置98种常用气体，可编辑混合气体
测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力，累积流量可选
技术参数
量程范围：从0~0.5SCCM至0~1000SLPM
可测介质：非腐蚀性、洁净、干燥气体（如需测量腐蚀性气体可选MWS系列）
精度：标准精度±0.8%读数±0.2%满量程，（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性：±0.2%
测量范围：0.01%~100%满量程
温度范围：-10~60℃（可选高温选项）
温度精度：±0.75℃
温度漂移：0.02%满量程/℃
耐压：160PSIA（更高耐压请选择MQ系列）
压力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
压力精度：>1atm:±0.5%读数,<1atm:±0.07PSIA
操作压力低至：11.5PSIA（更低压力请来电垂询）
防护等级：IP40
湿度范围：0~95%不凝结
接液材质：302&303不锈钢，Viton等多种材质
模拟信号：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
数字信号：RS232；RS485
通讯协议：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
标准电气连接：DB9 male, 可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
供电电源：9-24VDC 40mA min（如选4 - 20 mA或0-10VDC输出，须12 - 24VDC）
标准状态：默认25℃，1atm，显示屏上可自定义其它标准状态
操作软件：自带操作软件，可存储、导出数据
更多个性化性能及选项请来电垂询！010-87241391
尺寸压损
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满量程质量流量控制器 |
满量程压损（PSID） 排气到大气中 |
机械尺寸1 |
过程连接2 |
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10 SCCM ~ 50 SCCM |
1.0 |
3.9''H x 3.4''W x 1.1''D |
M-5 （10-32）（内螺纹） |
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100 SCCM ~ 500 SCCM |
1.0 |
4.1''H x 3.6''W x 1.1''D |
1/8'' NPT 内螺纹 |
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1 SLPM |
1.5 |
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2 SLPM |
3.0 |
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5 SLPM |
2.0 |
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|
10 SLPM |
5.5 |
||
|
20 SLPM |
20.0 |
||
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50 SLPM |
9.0 |
5.5''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/4'' NPT 内螺纹 |
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100 SLPM |
2.6 |
||
|
250 SLPM |
4.6 |
5.5''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/2'' NPT 内螺纹 |
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500 SLPM |
6.5 |
5.5''H x 7.3''W x 2.3''D |
3/4'' NPT 内螺纹 （A 1-1/4” NPT 内螺纹可选过程连接 可用于2000 slpm 流量计） |
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1000 SLPM |
14.0 |
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1500 SLPM |
17.0 |
||
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2000 SLPM |
28.6 |
5.5''H x 8.1''W x 2.9''D |
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3000 SLPM |
16.8 |
5.5''H x 8.9''W x 2.9''D |
1-1/4'' NPT 内螺纹 |
订货参数
气体种类
量程范围（标准状态下量程）
使用压力
使用温度
精度要求
输出信号
接口类型
如需选型报价请来电垂询！010-87241391
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