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产品详细页

MCS耐腐蚀质量流量控制器

型号:MCS

产品时间:2019/12/30 18:31:40

简要描述:

MCS系列气体质量流量控制器用于控制气体质量流量,同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度,可用流量量程跨度宽,内置多种气体校准,带显示控制屏,无须配备其他显示控制设备。MCS产品可用于腐蚀性气体。

产品特点

 

量程低至0.5SCCM

宽量程比100:1

响应时间:10ms

无需预热时间

多功能数字显示屏,带摁键背光

内置98种常用气体,可编辑混合气体

测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力

 

技术参数

 

量程范围:0.5SCCM~5000SLPM(中间量程可标定)

精度:标准精度±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)

重复性:±0.2%

量程比:100:1

温度范围:-10~60℃

温度精度:±0.75℃

温度漂移:0.02%满量程/℃

耐压:160PSIA(更高选项请来电垂询)

压力漂移:± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm  from calibration conditions

压力精度:>1atm:±0.5%读数

          <1atm:±0.07PSIA

防护等级:IP40

湿度范围:0~95%不凝结

接液材质:302&303不锈钢,Viton等多种材质

模拟信号:0-5VDC;1-5VDC;4-20mA;0-10VDC

数字信号:RS232;RS485

通讯协议:Modbus;Devicenet;EtherCAT;Profibus

标准电气连接:DB9 male(其他连接方式可选)

供电电源:12-30VDC 250mA min

订货参数

气体种类

量程范围(标准状态下量程)

使用压力

使用温度

精度要求

输入输出信号

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