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产品特点
量程低至100SCCM
宽量程比：1000:1
响应时间：100ms
体积小巧，适用于系统集成
压力损失低
技术参数
介质要求 洁净、干燥、无腐蚀性气体
介质种类 可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2
满量程： 标准0 - 100 SCCM至0-100SLPM
控制范围 0.1 ~ 100%满量程 （1000:1）
精 度 ： ±1.5%读数或者±0.2%满量程，取决于气体
重 复 性： ±0.25 %读数或者±0.05%满量程，取较大值
控制响应时间（T63） 优于100 ms，与量程相关，用户可调
预热时间 1min~5min
标准状况（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用户可定制
操作温度： 0 ～ 50℃（介质和环境）
工作湿度 0-95 %，无冷凝
操作压力 100SCCM-5SLPM:0-145PSIG
10SLPM:0-100PSIG
20SLPM:0-60PSIG
50-100SLPM:0-145PSIG
注：10SLPM和20SLPM可定制阀门选项，提高操作压力
耐压： 175PSIG
数字信号： RS485或RS232 MODBUS RTU
模拟信号： 0 - 5 Vdc；4 - 20 mA
电气接口：6针 JST GH
供电需求： 12-24 Vdc，210mA
主体材质：硬质阳极氧化铝
阀门材质：黄铜，300系列不锈钢，NBR（丁晴橡胶），FR4树脂
密封材质：FKM
传 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，锡，紫铜
过程连接 NPT或SAE内螺纹
安装固定孔：2×M3×0.5螺纹，深度6mm
安装方向： 平行方向校准
阀门类型：常闭
防护等级 IP40
状态指示灯（LED）：电源，串口通讯，错误
订货参数
气体种类
量程范围（标准状态下量程）
使用压力
使用温度
精度要求
输出信号
接口类型
如需选型报价请来电垂询！010-87241391
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