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型号 |
5850E |
5860E |
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流量范围(N2) |
3SCCM~30SLPM |
3SCCM ~ 30slpm |
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响应时间 |
<3 sec |
<2 sec |
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精准度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
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重复精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
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输入/输出信号 |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
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供电电源 |
+15 Vdc |
+15 Vdc |
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耐压 |
1500psi |
1500psi |
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压差范围 |
5~50psi |
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漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
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工作环境温度 |
0~50 °C |
0~50 °C |
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使用范围 |
2 ~ 100% |
2~ 100% |
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接口形式 |
卡套、VCR |
卡套、VCR |
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