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型号 |
质量流量计 |
质量流量控制器 |
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流量范围(N2) |
10SCCM~1000SLPM |
10SCCM ~ 300slpm |
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响应时间 |
<2 sec |
<2 sec |
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精准度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
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重复精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
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输入/输出信号 |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
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供电电源 |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
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耐压 |
<90bar |
0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
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工作环境温度 |
0~50 °C |
0~50 °C |
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漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
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使用范围 |
2 ~ 100% |
2~ 100% |
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